ТЕМ НЕ МЕНЕЕ, частица и союз 1. Частица (часто в сочетании с противительными союзами «а», «но», а также в предложениях с союзами «хотя», «несмотря на то что», «пусть» и др.). Не требует постановки знаков препинания.  Мюллер долго наблюдал за тем, как медленно, еле заметно, но тем не менее неуклонно лучи двигались по комнате. Ю. Семенов, Экспансия-I. Несмотря на то, что Ягозин был ...

...ТЕМ НЕ МЕНЕЕ, частица и союз 1. Частица...

...Тем не менее...

ВСЁ РАВНО(,) КАК / ЧТО, связка и союз 1. Связка перед сказуемым. Используется для выражения сходства, приравнивания к чему-либо. Между частями связки (перед словами «как», «что») запятая не требуется. Скажи, в Варыкино свезти четверых, поклажи всё равно что никакой. Б. Пастернак, Доктор Живаго. Молва и раньше катилась по свету скорее самого быстрого корабля, а сейчас она всё равно как молния. И. Ефремов, Лезвие бритвы.

...ВСЁ РАВНО(,) КАК / ЧТО, связка и союз...

...Всё равно(,) как / что...

ДА И ТОЛЬКО, частица (в конце предложения или части сложного предложения) Употребляется для указания на постоянство, настойчивость в каком-либо действии или ограничение действия чем-либо, а также для подчеркивания категоричности высказывания. Отделяется запятой (реже – тире) от предшествующей части предложения. Прошло еще с полчаса – не спится, да и только. М. Салтыков-Щедрин, Современная идиллия. Тут... вон... общину в коммуну ...

...ДА И ТОЛЬКО, частица (в конце предложения...

...Да и только...